用於晶片研磨和拋光的板狀煅燒氧化鋁拋光粉

用於晶圓研磨和拋光的板狀煅燒氧化鋁拋光粉
是一種專為半導體晶圓研磨和化學機械拋光(CMP)製程開發的高端精密磨料。與傳統具有鋒利切削刃的角狀氧化鋁磨料不同,本產品具有獨特的平滑板狀微觀結構,非常適合對GaAs晶圓、矽晶圓和藍寶石晶圓等易碎高精度基板進行超精細加工。它已成為提高半導體產業晶圓表面光潔度和生產良率的關鍵材料。

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用於晶片研磨和拋光的板狀煅燒氧化鋁拋光粉

板狀煅燒氧化鋁拋光粉是一種專為半導體晶圓研磨和化學機械拋光(CMP)製程開發的高端精密磨料。與傳統棱角分明的氧化鋁磨料不同,本產品具有獨特的平滑板狀微觀結構,非常適用於GaAs晶圓、矽晶圓和藍寶石晶圓等易碎高精度基板的超精細加工。它已成為半導體產業提高晶圓表面光潔度和生產良率的關鍵材料。

板狀煅燒氧化鋁拋光粉以優質工業氧化鋁粉為原料,經特殊生產製程加工而成。所得氧化鋁拋光粉晶體呈六角形扁平片狀,故又稱為片狀氧化鋁或板狀氧化鋁。

板狀氧化鋁的純度超過99%,具有耐熱、耐酸鹼腐蝕及高硬度等特性。與傳統的球形磨料顆粒不同,板狀氧化鋁的底面平整,在研磨過程中顆粒與工件表面貼合,產生滑動研磨效果,避免了顆粒尖角刮傷工件表面。此外,板狀氧化鋁在研磨過程中,研磨壓力均勻分佈在顆粒表面,顆粒不易破碎,耐磨性提高,從而提升了研磨效率和表面光潔度。

對於半導體材料(例如半導體矽片),應用氧化鋁板可以縮短研磨時間,大幅提高研磨效率,減少研磨機損耗,節省人工和研磨成本,並提高研磨通過率。其品質接近國外知名品牌。

顯像管玻璃球研磨的工作效率提高了3-5倍;

合格產品率提高了10-15%,半導體晶圓的合格產品率達到99%以上;

研磨用量比一般氧化鋁拋光粉減少40-40%;

化學成分

化學 保證價值 典型值
氧化鋁 ≥99.0% 99.36%
二氧化矽 <0.2% 0.017%
Fe2O3 <0.1% 0.03%
氧化鈉 <0.6% 0.35%

物理性質

材料 α-Al2O3
顏色 白色的
比重 ≥3.9克/立方厘米
莫氏硬度 9.0

可選尺寸

類型 D3(微米) D50(一) D94(微米)
HXTA45 50.5-56.2 33-38.5 20.7-24.5
HXTA40 39-44.6 27.7-31.7 18-20
HXTA35 35.4-39.8 23.8-27.2 15-17
HXTA30 28.1-32.3 19.2-22.3 13.4-15.6
HXTA25 24.4-28.2 16.1-18.7 9.6-11.2
HXTA20 20.9-24.1 13.1-15.3 8.2-9.8
HXTA15 14.8-17.2 9.4-11 5.8-6.8
HXTA12 11.8-13.8 7.6-8.8 4.5-5.3
HXTA09 8.9-10.5 5.9-6.9 3.3-3.9
HXTA05 6.6-7.8 4.3-5.1 2.55-3.05
HXTA03 4.8-5.6 2.8-3.4 1.5-2.1

產品應用

1)電子工業:半導體單晶矽晶片、石英晶體、化合物半導體(晶體鎵、磷化奈米)的研磨和拋光。

2)玻璃工業:晶體、石英玻璃、顯像管玻璃外殼螢幕、光學玻璃、液晶顯示器(LCD)玻璃基板和石英晶體的研磨和加工。

3)塗料產業:等離子噴塗專用塗料和填料。

4)金屬陶瓷加工產業:精密陶瓷材料、燒結陶瓷原料、高檔高溫塗料等。

板狀煅燒氧化鋁
板狀煅燒氧化鋁

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