PWA拋光粉和WA拋光粉的差別
PWA和WA是兩種經典的氧化鋁拋光磨料,廣泛應用於精密研磨、半導體晶圓拋光和光學加工。它們在製造工藝、顆粒形貌、純度、拋光機制和適用場景等方面存在根本差異,詳情如下。

1. 產品名稱及生產製程
WA 指白熔融氧化鋁。它是透過在電弧爐中將鋁土礦在 2200℃ 以上的高溫下熔化,然後將冷卻後的剛玉塊進行破碎、研磨和分級,最終製成微粉。 PWA
指片狀煅燒氧化鋁。它採用 1300℃ 的定向低溫煅燒技術,無需電熔,透過控制晶體生長形成規則的扁平六邊形片狀晶體,然後經過洗滌和精確分級,得到成品粉末。 2
. 顆粒形狀及純度
WA 顆粒是不規則的碎片狀多面體,具有鋒利的切面。其 Al₂O₃ 純度 ≥96.0%,含少量鐵、矽等微量雜質。 PWA
具有光滑、無棱角的片狀晶體,具有高長徑比。其氧化鋁純度超過 99.0%,重金屬雜質含量受到嚴格控制,符合超淨半導體製造標準。

3. 拋光性能:
WA 依靠鋒利的刀刃進行機械切削,材料去除率高。然而,其剛性切削力容易在 InP、GaAs 和薄矽片等脆弱基材上造成微划痕、亞表面晶格損傷和殘餘應力。它適用於對錶面光潔度要求不高的重度材料去除粗磨。 PWA
的扁平顆粒緊密附著在工件表面,透過均勻的滑動摩擦而非鋒利的切削去除材料。它最大限度地減少了刮痕和亞表面損傷,可獲得超光滑、無霧的鏡面,並具有優異的整體平整度。它兼顧了適中的去除效率和超高精度的表面質量,是化合物半導體 CMP 精拋光的理想選擇。
4. 化學穩定性及應用範圍
兩者均具有9.0的莫氏硬度和穩定的α-氧化鋁相,但PWA具有更強的耐酸鹼性和在拋光漿料中更好的分散性,不易結塊。 WA
主要用於金屬粗磨、普通玻璃粗研磨和低要求五金件拋光。 PWA
則面向高端領域:III-V族半導體晶圓拋光、光學晶體精加工、3D曲面玻璃CMP後精細修整以及作為隔熱塗層的高純度功能填料,可作為進口高精度拋光介質的優質替代品。






